瓦森纳协定成员国名单_瓦森纳协定 清单

2022-11-22 21:54:29 0

瓦森纳协定成员国名单_瓦森纳协定 清单

谈起光刻机相信大家首先想到的是荷兰,确实如此,荷兰光刻机在全球都是数一数二的,就连最顶尖的光刻机制造公司ASML也位于荷兰,二荷兰光刻机之所以这么出名,很大程度是由于荷兰在这方面下了很大的功夫,比如技术投入、研发团队以及资金投入都是其他国家难以比拟的。

是荷兰那么厉害的光刻机却很少卖给中国。荷兰光刻机已经卖到了韩国、美国,诸如三星、英特尔、台积电等都是其大客户,可唯独不卖给中国。要知道,中国乃人口大国,对芯片的需求量远超可以说是美国和韩国的总和,缺少中国这一个客户很明显会丧失了一大笔利润,那么为什么荷兰却偏偏不卖中国光刻机呢?

全球最大芯片光刻设备市场供货商阿斯麦。尽管“瓦森纳安排”规定成员国自行决定是否发放敏感产品和技术的出口许可证,并在自愿基础上向“安排”其他成员国通报有关信息。但“安排”实际上完全受美国控制。当“瓦森纳安排” 某一国家拟向中国出口某项高技术时,美国甚至直接出面干涉,如捷克拟向中国出口“无源雷达设备”时,美便向捷克施加压力,迫使捷克停止这项交易。

不过据说这个协定对中国也不是完全禁售,只是禁售最新的几代设备。瓦森纳协议每过几年都会更新禁售列表,比如2010年90nm以下的设备都是不允许销售的,到2015年就改成65nm以下的了。

中外光刻机的巨大差距

光刻机被业界誉为集成电路产业皇冠上的明珠,研发的技术门槛和资金门槛非常高。也正是因此,能生产高端光刻机的厂商非常少,到最先进的14nm光刻机就只剩下ASML,日本佳能和尼康已经基本放弃第六代EUV光刻机的研发。

相比之下,国内光刻机厂商则显得非常寒酸,处于技术领先的上海微电子装备有限公司已量产的光刻机中性能最好的是90nm光刻机,制程上的差距就很大……国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。

这不仅使国内晶圆厂要耗费巨资购买设备,对产业发展和自主技术的成长也带来很大不利影响--ASML在向国内晶圆厂出售光刻机时有保留条款,那就是禁止用ASML出售给国内的光刻机给国内自主CPU做代工--只要中芯国际、华力微等晶圆厂采购的ASML光刻机,虽然不影响给ARM芯片做代工,但却不可能给龙芯、申威等自主CPU做代工、商业化量产。即便是用于科研和国防领域的小批量生产,也存在一定风险--采用陶瓷加固封装、专供军用的龙芯3A1500和在党政军市场使用的龙芯3A2000,只能是小批量生产,而且在宣传上 也只能含糊其辞的说明是境内流片……这很大程度上影响了自主技术和中国集成电路产业的发展。

中国的光刻机发展水平如何

2016年,清华大学召开了“光刻机双工件台系统样机研发”项目验收会,专家组对项目任务完成情况予以高度评价,并一致同意该项目通过验收。工件台系统是光刻机的重要子系统,工件台系统的运行速度、加速度、系统稳定性和系统的定位建立时间对光刻机的生产精度和效率起着至关重要的作用。本次“光刻机双工件台系统样机研发”项目验收,标志中国在双工件台系统上取得技术突破,但这仅仅是实现光刻机国产化万里长征的一部分,距离打破ASML的技术垄断还有很长的路要走。

日前,“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项实施管理办公室组织专家,在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所召开了“极紫外光刻关键技术研究”项目验收会。评审专家组充分肯定了项目取得的一系列成果,一致同意项目通过验收,认为该项目的顺利实施将我国极紫外光刻技术研发向前推进了重要一步。

极紫外光刻光学技术代表了当前应用光学发展最高水平,作为前瞻性EUV光刻关键技术研究,项目指标要求高,技术难度大、瓶颈多,创新性高,同时国外技术封锁严重。

因此我们看到,中国也是取得了很大的进步的。但是中国想要赶上,绝不是一朝一夕的事,需要各类基础领域扎实的人才,这也是最难的。

来源:金属加工(ID:mw1950pub)

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