中硅高科电子信息材料转型升级项目-中硅高科技产业股份有限公司
中 硅 高 科
SEMICON China
2019
3月20-22日，中国恩菲子公司中硅高科携潜心研发的硅基电子材料产品亮相SEMICON China 2019国际半导体展会。中硅高科此次重点展出了高精尖产品——电子级多晶硅，以及电子信息产业用的高纯四氯化硅、电子级六氯乙硅烷、电子级三氯氢硅、电子级二氯二氢硅、电子级正硅酸乙酯等硅基新产品。展会上，公司先进的产品指标及雄厚的创新实力赢得了国内外业界人士的一致认可与青睐。今天，小编就带您到中硅展位探宝去！
电子级多晶硅
电子级多晶硅是最高纯度等级的多晶硅产品，是半导体集成电路产业链中的关键性基础材料和战略性原材料。目前，中硅高科已将电子级区熔用多晶硅和电子级直拉多晶硅作为高端产品，为扭转受制于人的不利局面不懈努力。
高纯四氯化硅
中硅高科的高纯四氯化硅产品共分为OVD、VAD、PCVD和电子级四个等级。OVD、VAD、PCVD级高纯四氯化硅用于制备光纤预制棒包层和芯层，电子级四氯化硅用于半导体外延硅片。目前，相关产品已经成为中硅高科的新增利润点，光纤用高纯四氯化硅已在推广应用过程中，成功实现进口替代。
电子级三氯氢硅
电子级三氯氢硅是半导体硅外延片和成膜工艺所需的硅源气体，在硅外延片生产中得到广泛应用。中硅高科首创开发了国产半导体芯片用的电子级三氯氢硅，并形成批量供应。
电子级六氯乙硅烷
中硅高科电子级六氯乙硅烷分为HP级和UHP级两个等级，主要用于先进存储器和逻辑芯片制造中高品质氮化硅和氧化硅薄膜的低温沉积生产工艺。中硅高科是国内首家拥有该自主知识产权的电子特气产品企业。
电子级二氯二氢硅
中硅高科产品电子级二氯二氢硅，经过深度提纯精制而得，主要用于半导体芯片制造行业中硅外延生长以及氧化硅、氮化硅、锗硅以及金属硅化物等薄膜沉积生产工艺。产品的成功研发，有效填补了国内空白，实现了行业领跑。
电子级正硅酸乙酯
电子级正硅酸乙酯简称为“TEOS”，广泛应用于先进集成电路芯片制造中的各类氧化硅薄膜沉积工艺中，工艺复杂，附加值高。
目前硅基电子材料产品已成为中硅高科转型升级的重要产品，按照发展趋势，3-5年后，硅基电子材料占整体业务比重将超过50%，中硅高科将成为国内举足轻重的集成电路材料企业。
前进的脚步，离不开中硅高科在硅基电子材料方面科研实力的支撑，离不开多晶硅材料制备国家工程实验室作用的发挥，离不开多晶硅产业坚守者、奔跑者不负初心、不断创新。未来，中硅人将继续向“国家战略级硅基材料创新中心和生产中心”攀登，助力国家能源、信息产业高技术、高质量发展。